электронно-лучевая литография с векторным сканированием

vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector-scan electron-beam lithography vok. Vektorscan-Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно-лучевая литография с векторным сканированием, f pranc. lithographie par faisceau d'électrons avec balayage vectoriel, f